Вариант 22 дифузионни резистори и кондензатори
Дата 19.01.2020 Размер 30.29 Kb. #111534
ez ggwp Свързани:
dokumentite.com-kursova-rabota-po-mikroelektronika-2 Вариант 22
ДИФУЗИОННИ РЕЗИСТОРИ И КОНДЕНЗАТОРИ
Да се проектира топологията на дифузионен резистор, формиран в емитерната област:
Да се определят конструктивните размери и да се избере подходяща конфигурация на резистора при следните изходни данни:
R = 3 3 Ω ± 20 % ; R s = 7,5 Ω/□ ;
P = 0,25 mW ; P 0 = 20 mW/mm 2 ;
b тех = 8 μm ; b точн = 10 μm ;
∆ецв = 1 μm ; x j = 1 μm .
Да се построи топологичен чертеж на проектирания резистор в подходящо подбран мащаб в рамките на полупроводников чип с квадратна форма и площ А СН = 2,12 mm 2 .
Да се изчисли активната площ АR на резистора и площта Аtot , заемана от резистора в чипа.
Да се проектира дифузионен кондензатор , използващ бариерния капацитет на емитерния преход.
Да се изчисли площта на кондензатора при зададени:
C = 8,5 pF ; U R = 4,5 V ; φ k = 0,55 V ;
N A = 2 ,2 .10 18 cm -3 ; ɛ 0 = 8,85.10 -12 F/m ; ɛ rSi = 12 ;
q = 1,6.10 -19 C.
Да се начертае вертикалната геометрия на кондензатора при дълбочина на емитерния преход x j = 1,2 μm и хоризонтални размери l = 1,3b .
ТЪНКОСЛОЙНИ РЕЗИСТОРИ И КОНДЕНЗАТОРИ
Да се проектира топологията на тънкослоен резистор от МЛТ-3М.
Да се изчислят конструктивните размери и да се избере конфигурация на резистора при следните изходни данни:
R = 8,8 kΩ ± 12% ; R s = 275 Ω/□ ;
( ∆ R s / R s ).100 = ± 6% ;
P R = 3,5 mW ; P 0 = 2 W/cm 2 ;
b тех = 0,2 mm ; l n = 0,15 mm ;
∆b = 0,02 mm ; ∆ l = 0,03 mm .
Да се изчисли активната площ АR на резистора.
Да се построи топологичен чертеж на проектирания резистор в подходящо подбран мащаб.
Да се изчисли общата площ Аtot , заемана от резистора като елемент на слойна ИС върху подложката.
2. Да се проектира тънкослоен кондензатор с диелектрик Ti O 2 ( ɛ r = 42 ).
C = 9 nF ; U p = 5 V ; E пр = 1.10 6 V/cm ; k 3 = 3 ; k s = 0,9.
Да се построи топологичен чертеж на проектирания кондензатор в подходящо подбран мащаб , като се изберат линейните размери на диелектричния слой.
Забележка: Кондензаторът от задача 2 и резисторът от задача 1 да се разположат върху обща подложка с размери (18 x 15) mm. Сподели с приятели: