Високото изолационно съпротивление на диелектричните материали се запазва до определена критична стойност на интензитета на електрическото поле. Ако интензитетът на полето превиши тази критична стойност, диелектрикът изгубва диелектричните си свойства – това явление се нарича пробив. Напрежението, при което настъпва пробив, се нарича пробивно напрежение Uпр, а съответният интензитет на полето – диелектрична якост Eпр. Eпр=Uпр/d, V/m, където d е дебелината на образеца от диелектр. материал, m. Диелектричната якост на материалите зависи от структурата им, поради което механизмът на пробива се определя от агрегатното им състояние.
Пробив в газообразни диелектрици: Важна отличителна черта на пробива на газовете е неговата обратимост – след премахване на въздействието на електрическото поне газообразният диелектрик възстановява диелектричните си свойства. Пробивът в газовете зависи от това дали полето е еднородно или нееднородно. Нееднородното поле се характеризира със закривени силови линии в местата на нееднородност. Еднородно се смята полето между два безкрайно дълги успоредни електрода със заоблени краища. Енергията на заредените частици за еднородно поле: W=Eqλср, където E – интензитет на полето, q - заряд на частицата, λср – дължината на средния и пробег. Пробивът на газовете зависи от налягането им. В нееднородно поле пробивното напрежение зависи от поляритета на приложеното напрежение. Силно нееднородно поле се създава между два електрода, единият от които е с форма на игла, а другият е плосък.
Пробив в течни диелектрици– Течните диелектрици имат значително по-висока диелектрична якост от газовете. Като най-важна причина за това се сочи значително по-голямата плътност на течностите, т.е. значително по-малка средна дължина на свободния пробег. В много чистите течни диелектрици пробивът може да се получи в резултат на избиване на електрони от металните електроди. В технически чистите течни диелектрици пробивът може да се получи в резултат на частични прегрявания в местата с примеси с повишена проводимост, кипване на течностите в тези места.